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桃子汉化组移植游戏大全:加工装备类

高真空离子溅射/蒸镀一体化镀膜仪

品牌:英国Quorum
型号:Q150T ES PLUS
负责人:王营营
联系方式:020-87111280,wangyy86@scut.edu.cn
安放地点:北区科技园2号楼122A室

主要配置:

1. 旋转倾斜样品台(直径60 mm);

2. 膜厚监控系统;

3. 真空防污染装置。

基本用途:

1. 将石墨蒸镀到样品表面形成薄膜;

2. 将Au、Pt、Cr、Ir、W、Al、ITO等靶材离子化溅射到样品表面形成薄膜;

3. 可在氩气氛中进行离子溅射/蒸镀操作。

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